Технологические процессы с использованием ионной имплантации
Bibliographic entry
Мясоедов, Е. Н. Технологические процессы с использованием ионной имплантации / Е. Н. Мясоедов, Е. Н. Щербакова // Новые направления развития приборостроения : материалы 9-й международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, Минск, 20–22 апреля 2016 г. : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2016. – Т. 1. - С. 229-230.