Browsing №6 by Author "Аваков, С. М."
Now showing items 1-1 of 1
-
Применение оборудования для автоматического контроля планарных структур в производстве оригиналов топологии интегральных схем на фотошаблонах
Аваков, С. М. (БНТУ, 2007)Аваков, С. М. Применение оборудования для автоматического контроля планарных структур в производстве оригиналов топологии интегральных схем на фотошаблонах / С. М. Аваков // Вестник Белорусского национального технического университета : научно-технический журнал. – 2007. – № 6. – С. 64-70.2014-05-05