Применение импульсного фотонного отжига для  создания  тонких пленок силицидов переходных металлов

dc.contributor.author	Чапланов, А. М.	ru
dc.contributor.author	Маркевич, М. И.	ru
dc.contributor.author	Щербакова, Е. Н.	ru
dc.date.accessioned	2012-04-16T15:27:56Z
dc.date.available	2012-04-16T15:27:56Z
dc.date.issued	2011
dc.identifier.citation	Чапланов, А. М. Применение импульсного фотонного отжига для создания тонких пленок силицидов переходных металлов / А. М. Чапланов, М. И. Маркевич, Е. Н. Щербакова // Белорусская инновационная неделя. Форум «Беларусь — Иран». Научно-практический семинар «Состояние и перспективы совместных белорусско-иранских исследований в области био- и нанотехнологий, электроники и озеленения». – 2011.	ru
dc.identifier.uri	https://rep.bntu.by/handle/data/2307
dc.language.iso	ru	ru
dc.title	Применение импульсного фотонного отжига для создания тонких пленок силицидов переходных металлов	ru
dc.type	Working Paper	ru