Применение импульсного фотонного отжига для создания тонких пленок силицидов переходных металлов
Loading...
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Abstract
item.page.description-other
Description
Citation
Чапланов, А. М. Применение импульсного фотонного отжига для создания тонких пленок силицидов переходных металлов / А. М. Чапланов, М. И. Маркевич, Е. Н. Щербакова // Белорусская инновационная неделя. Форум «Беларусь — Иран». Научно-практический семинар «Состояние и перспективы совместных белорусско-иранских исследований в области био- и нанотехнологий, электроники и озеленения». – 2011.