Browsing 2015 by Author "Комаров, Ф. Ф."
Now showing items 1-1 of 1
-
Система контроля расхода газов для применения в технологии реактивного магнетронного распыления
Климович, И. М.; Кулешов, В. Н.; Зайков, В. А.; Бурмаков, А. П.; Комаров, Ф. Ф.; Людчик О. Р. (БНТУ, 2015)Неустойчивость параметров разряда и химического состава потоков частиц, поступающих на подложку, в переходных режимах реактивного магнетронного распыления приводит к невоспроизводимости состава покрытий от процесса к процессу. Целью настоящей работы являлась разработка системы контроля расхода газа, позволяющая стационарно поддерживать неравновесное состояние магнетронного разряда ...2015-12-30