Browsing №4 by Author "Голдын, Л."
Now showing items 1-1 of 1
-
Прецизионная система перемещений для оптико-механического оборудования микроэлектроники
Дайняк, И. В.; Карпович, С. Е.; Кекиш, Н. И.; Голдын, Л. (БНТУ, 2015)Предложена структура прецизионной системы перемещений на базе кольцевого многокоординатного сегментного синхронного двигателя и реконфигурируемого механизма параллельной кинематики. Многокоординатный синхронный двигатель в зависимости от конструктивного исполнения может иметь от двух до шести подвижных сегментов, число которых в целом определяет внутреннюю подвижность двигателя. ...2015-08-14