Now showing items 1-1 of 1

    • Прецизионная система перемещений для оптико-механического оборудования микроэлектроники 

      Дайняк, И. В.; Карпович, С. Е.; Кекиш, Н. И.; Голдын, Л. (БНТУ, 2015)
      Предложена структура прецизионной системы перемещений на базе кольцевого многокоординатного сегментного синхронного двигателя и реконфигурируемого механизма параллельной кинематики. Многокоординатный синхронный двигатель в зависимости от конструктивного исполнения может иметь от двух до шести подвижных сегментов, число которых в целом определяет внутреннюю подвижность двигателя. ...
      2015-08-14