Browsing №1 by Author "Трапашко, Г. А."
Now showing items 1-1 of 1
-
Синтез оптоэлектронной системы установки контроля микроэлектронных структур
Трапашко, Г. А. (БНТУ, 2014)Совершенствование оборудования для контроля размеров и формы микроэлектронных структур на соответствие проектным данным и отсутствие привнесенных в него дефектов и загрязнений требует развития оптоэлектронных систем регистрации изображений структурных элементов. Синтез этих систем можно осуществлять с помощью метода, позволяющего установить обоснованность использования в ней ...2014-04-14