Browsing 2013 by Author "Русецкий, В. А."

Now showing items 1-2 of 2

    • Методы автоматического контроля топологии планарных структур изделий электронной техники 

      Аваков, С. М.; Дрогун, Е. А.; Русецкий, В. А.; Титко, Д. С.; Титко, Е. А.; Шоломицкий, В. Г. (БНТУ, 2013)
      Приводится описание существующих методов автоматического контроля топологии планарных структур изделий микро- и наноэлектроники, других изделий электронной техники, дается их классификация. На основании анализа факторов, влияющих на принятие решения о выборе метода контроля топологии, определяется алгоритм выбора метода в зависимости от характеристик контролируемого объекта и ...
      2013-12-06

    • Технология изготовления фотошаблонов, основанная на оперативном моделировании параметризованных процессов фотолитографии 

      Русецкий, В. А. (БНТУ, 2013)
      Приводятся результаты разработки нового подхода к изготовлению оригиналов топологии на фотошаблонах, обеспечивающего возможность оперативной оценки фотолитографической значимости дефектов маски, обнаруженных в процессе контроля фотошаблонов на соответствие топологии, без выполнения операции проекционного переноса изображения с фотошаблона на полупроводниковую пластину. Данный ...
      2013-12-05