Контроль качества исходных подложек, микроструктур и микросенсоров на основе визуализации поверхностного потенциала
Bibliographic entry
Жарин, А. Л. Контроль качества исходных подложек, микроструктур и микросенсоров на основе визуализации поверхностного потенциала / А. Л. Жарин, А. В. Дубаневич // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 13-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2015. - Т. 2. - С. 177.