Маркевич, М. И. Формирование и диагностика тонких слоев силицидов металлов на кремнии для интегральных микросхем с элементами субмикронных размеров / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 11-й Международной научно-технической конференции. Т. 3. - Минск : БНТУ, 2013. - С. 310.