| dc.contributor.author | Бринкевич, Д. И. | ru |
| dc.contributor.author | Просолович, В. С. | ru |
| dc.contributor.author | Янковский, Ю. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Черный, В. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2015-11-11T06:35:30Z | |
| dc.date.available | 2015-11-11T06:35:30Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.citation | Влияние высокоэнергетичной ионной имплантации на изменение физико-механических свойств монокристаллов кремния / Д. И. Бринкевич [и др.] // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 11-й Международной научно-технической конференции. Т. 3. - Минск : БНТУ, 2013. - С. 302. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/19235 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Влияние высокоэнергетичной ионной имплантации на изменение физико-механических свойств монокристаллов кремния | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
| dc.relation.book | Наука – образованию, производству, экономике : материалы 11-й Международной научно-технической конференции. Т. 3 | ru |
