Влияние высокоэнергетичной ионной имплантации на изменение физико-механических свойств монокристаллов кремния
Bibliographic entry
Влияние высокоэнергетичной ионной имплантации на изменение физико-механических свойств монокристаллов кремния / Д. И. Бринкевич [и др.] // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 11-й Международной научно-технической конференции. Т. 3. - Минск : БНТУ, 2013. - С. 302.