Show simple item record

dc.contributor.authorДайняк, И. В.ru
dc.contributor.authorКарпович, С. Е.ru
dc.contributor.authorКекиш, Н. И.ru
dc.contributor.authorГолдын, Л.ru
dc.coverage.spatialМинскru
dc.date.accessioned2015-08-14T07:29:18Z
dc.date.available2015-08-14T07:29:18Z
dc.date.issued2015
dc.identifier.citationПрецизионная система перемещений для оптико-механического оборудования микроэлектроники = Precision Motion System for Opto-Mechanical Equipment of Microelectronics / И. В. Дайняк [и др.] // Наука и техника. Серия 3. Электронные системы, Серия 6. Экономика промышленности = Science & Technigue. Series 3. Electronic Systems, Series 6. Economy in Industry. – 2015. – № 4. – С. 24 - 32.ru
dc.identifier.urihttps://rep.bntu.by/handle/data/18390
dc.description.abstractПредложена структура прецизионной системы перемещений на базе кольцевого многокоординатного сегментного синхронного двигателя и реконфигурируемого механизма параллельной кинематики. Многокоординатный синхронный двигатель в зависимости от конструктивного исполнения может иметь от двух до шести подвижных сегментов, число которых в целом определяет внутреннюю подвижность двигателя. Особенность механизма параллельной кинематики состоит в возможности его реконфигурирования за счет последовательного соединения двух соседних шатунов свободными элементами их сферических шарниров в треугольные контуры с одним сферическим шарниром в общей вершине. В результате управляемое движение подвижных сегментов двигателя трансформируется в сложное пространственное движение кольцевой платформы механизма с числом степеней свободы до шести включительно. Предложена математическая модель решения задачи кинематики для рассматриваемого параллельного механизма, позволяющая вычислять положения подвижных сегментов синхронного многокоординатного двигателя в зависимости от заданного положения и ориентации исполнительной кольцевой платформы. Параметрические представления положения базовых точек сегментов двигателя во времени позволяют, в конечном итоге, формировать алгоритмы программируемых движений. Обоснована возможность встраивания разработанной системы перемещений в проекционные системы оптико-механического оборудования с сохранением традиционной схемы компоновки. При этом обеспечивается возможность адаптивной юстировки оптических элементов в процессе эксплуатации, позволяющая подстраивать оптические элементы при изменении геометрии проекционной системы вследствие старения. В результате поддерживаются на требуемом уровне показатели назначения проекционной системы: разрешающая способность, глубина резкости и контрастности изображения, дисторсия. Разработанная система перемещений может быть использована как координатная система позиционирования, совмещения и сканирования в сборочном и другом прецизионном оборудовании.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherБНТУru
dc.subjectПрецизионная система перемещенийru
dc.subjectСегментный двигательru
dc.subjectМеханизм параллельной кинематикиru
dc.subjectОптико-механическое оборудованиеru
dc.titleПрецизионная система перемещений для оптико-механического оборудования микроэлектроникиru
dc.title.alternativePrecision Motion System for Opto-Mechanical Equipment of Microelectronicsen
dc.typeArticleru
dc.identifier.udc62-83ru
dc.relation.journalНаука и техника = Science & Technigueru


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record