Белорусский национальный технический университет
Repository of the Belarusian National Technical University
ISSN: 2310-7405
Repository of the Belarusian National Technical University
View Item 
  •   Repository BNTU
  • Сериальные издания
  • Приборы и методы измерений
  • 2015
  • №1 ( 10 )
  • View Item
  •   Repository BNTU
  • Сериальные издания
  • Приборы и методы измерений
  • 2015
  • №1 ( 10 )
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Анализ качества подзатворного диэлектрика МОП-структур по вольт-фарадным характеристикам

Thumbnail
Authors
Оджаев, В. Б.
Петлицкий, А. Н.
Просолович, В. С.
Филипеня, В. А.
Шведов, С. В.
Черный, В. В.
Явид, В. Ю.
Янковский, Ю. Н.
Date
2015
Publisher
БНТУ
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-udc
621.382
Bibliographic entry
Анализ качества подзатворного диэлектрика МОП-структур по вольт-фарадным характеристикам / В. Б. Оджаев [и др.] // Приборы и методы измерений : научно-технический журнал. – 2015. – № 1 (10). – С. 94 - 98.
Abstract
Исследованы МОП-транзисторы методом вольт-фарадных характеристик, изготов ленных в разное время, но по аналогичным технологическим маршрутам и при использовании идентичных технологических материалов. Установлено, что измерения вольт-фарадных характеристик МОП-структур позволяют проводить диагностику качества подзатворного диэлектрика. Вид и форма измеренных характеристик определяются величиной дополнительного положительного заряда в объеме диэлектрика и плотностью быстрых поверхностных состояний на границе раздела Si-SiO2, которые коррелируют с поверхностной концентрацией технологических примесей, адсорбированных на поверхности пластин в процессе изготовления приборов, что позволяет сделать заключение о качестве используемых материалов и соблюдении технологических режимов.
URI
https://rep.bntu.by/handle/data/18007
View/Open
94-98.pdf (429.0Kb)
Collections
  • №1 ( 10 )[17]
Show full item record
CORE Recommender

Belarusian National Technical University | Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
Яндекс.МетрикаIP Geolocation by DB-IP
Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
 

Browse

All of Repository BNTUCommunities & CollectionsAuthorsTitlesBy Issue DatePublisherBy Submit DateTypeThis CollectionAuthorsTitlesBy Issue DatePublisherBy Submit DateType

My Account

LoginRegister

Belarusian National Technical University | Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
Яндекс.МетрикаIP Geolocation by DB-IP
Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us