Режимы и условия распыления графита при формировании тонкопленочных покрытий
Bibliographic entry
Ковалевский, В. Н. Режимы и условия распыления графита при формировании тонкопленочных покрытий / В. Н. Ковалевский, С. В. Григорьев // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 11-й Международной научно-технической конференции. Т. 1. - Минск : БНТУ, 2013. - С. 332-333.