В работе приведены результаты исследования структурных и физико-механических свойств покрытий TiN/Cu, осаждённых из многокомпонентной сепарированной плазмы вакуумной дуги. Рассмотрены особенности формирования наноразмерных покрытий на основе TiN при легировании их элементом, не образующим химические соединения с титаном и азотом при выбранных условиях осаждения. Показано, что ...