Представлены технология изготовления газового сенсора с наноструктурированной двухслойной диэлектрической мембраной на кремнии и характеристики изготовленного сенсора. Выбор корректной математической модели обеспечивает хорошее совпадение расчетных вольт-амперных характеристик сенсора с экспериментальными и позволяет оценить влияние пористости диэлектрической мембраны на изменение ...