Применение ультразвукового контроля в диагностике микроэлектронных устройств
| dc.contributor.advisor | Гацкевич, Е. И. | ru |
| dc.contributor.author | Кузнецов, А. С. | ru |
| dc.contributor.author | Максименко, А. П. | ru |
| dc.contributor.author | Чиж, Р. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2026-05-06T08:31:36Z | |
| dc.date.available | 2026-05-06T08:31:36Z | |
| dc.date.issued | 2026 | |
| dc.identifier.citation | Кузнецов, А. С. Применение ультразвукового контроля в диагностике микроэлектронных устройств / А. С. Кузнецов, А. П. Максименко, Р. В. Чиж ; науч. рук. Е. И. Гацкевич // Ученый будущего : материалы научно-практической конференции молодых ученых, 04 декабря 2025 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: К. В. Якушенко, И. В. Устинович, Е. П. Корсак, Е. И. Михасик. – Минск : БНТУ, 2026. – С. 149-150. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/167369 | |
| dc.description.abstract | Рассматриваются физические принципы и аппаратная реализация современных методов ультразвукового неразрушающего контроля. Проведен анализ эволюции приборостроения в данной области, включая переход от ручного контроля к автоматизированным ультразвуковым комплексам. Особое внимание уделено направлению высокочастотного контроля – акустической микроскопии. Рассмотрено ее применение в микроэлектронике для неразрушающей диагностики критических дефектов в интегральных схемах и корпусах типа BGA. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Применение ультразвукового контроля в диагностике микроэлектронных устройств | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
