Применение ультразвукового контроля в диагностике микроэлектронных устройств
Bibliographic entry
Кузнецов, А. С. Применение ультразвукового контроля в диагностике микроэлектронных устройств / А. С. Кузнецов, А. П. Максименко, Р. В. Чиж ; науч. рук. Е. И. Гацкевич // Ученый будущего : материалы научно-практической конференции молодых ученых, 04 декабря 2025 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: К. В. Якушенко, И. В. Устинович, Е. П. Корсак, Е. И. Михасик. – Минск : БНТУ, 2026. – С. 149-150.
Abstract
Рассматриваются физические принципы и аппаратная реализация современных методов ультразвукового неразрушающего контроля. Проведен анализ эволюции приборостроения в данной области, включая переход от ручного контроля к автоматизированным ультразвуковым комплексам. Особое внимание уделено направлению высокочастотного контроля – акустической микроскопии. Рассмотрено ее применение в микроэлектронике для неразрушающей диагностики критических дефектов в интегральных схемах и корпусах типа BGA.