Метод контроля геометрической формы кремниевых подложек интегральных микросхем
| dc.contributor.author | Лосякина, Ю. В. | ru |
| dc.contributor.author | Луговик, А. Ю. | ru |
| dc.contributor.author | Фёдорцев, Р. В. | ru |
| dc.contributor.author | Хомич, Н. С. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2026-04-23T11:47:01Z | |
| dc.date.available | 2026-04-23T11:47:01Z | |
| dc.date.issued | 2005 | |
| dc.identifier.citation | Метод контроля геометрической формы кремниевых подложек интегральных микросхем / Ю. В. Лосякина, А. Ю. Луговик, Р. В. Фёдорцев, Н. С. Хомич // Приборостроение : материалы 61-й научно-технической конференции преподавателей, научных работников, аспирантов, магистрантов и студентов приборостроительных специальностей (5 - 30 апреля 2005 г.) / редкол.: В. И. Шамкалович (гл. ред.), Р. В. Фёдорцев, Н. В. Кулешов [и др.]. – Минск : БНТУ, 2005. – С. 16-22. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/166955 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Метод контроля геометрической формы кремниевых подложек интегральных микросхем | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
