Метод контроля геометрической формы кремниевых подложек интегральных микросхем / Ю. В. Лосякина, А. Ю. Луговик, Р. В. Фёдорцев, Н. С. Хомич // Приборостроение : материалы 61-й научно-технической конференции преподавателей, научных работников, аспирантов, магистрантов и студентов приборостроительных специальностей (5 - 30 апреля 2005 г.) / редкол.: В. И. Шамкалович (гл. ред.), Р. В. Фёдорцев, Н. В. Кулешов [и др.]. – Минск : БНТУ, 2005. – С. 16-22.