Автоматизированный комплекс для формирования ультратонких наноструктурированных пленок
| dc.contributor.author | Жавнерко, Г. К. | ru |
| dc.contributor.author | Агабеков, В. Е. | ru |
| dc.contributor.author | Чижик, С. А. | ru |
| dc.contributor.author | Суслов, А. А. | ru |
| dc.contributor.author | Марчик, Н. А. | ru |
| dc.contributor.author | Чикунов, В. В. | ru |
| dc.contributor.author | Шашолко, Д. И. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2026-03-16T05:39:01Z | |
| dc.date.available | 2026-03-16T05:39:01Z | |
| dc.date.issued | 2008 | |
| dc.identifier.citation | Автоматизированный комплекс для формирования ультратонких наноструктурированных пленок / Г. К. Жавнерко, В. Е. Агабеков, С. А. Чижик [и др.] // Приборостроение-2008 : материалы 1-й Международной научно-технической конференции, 12-14 ноября 2008 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2008. – С. 35-36. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/166472 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Автоматизированный комплекс для формирования ультратонких наноструктурированных пленок | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
