Автоматизированный комплекс для формирования ультратонких наноструктурированных пленок

Authors
Date
2008Publisher
Bibliographic entry
Автоматизированный комплекс для формирования ультратонких наноструктурированных пленок / Г. К. Жавнерко, В. Е. Агабеков, С. А. Чижик [и др.] // Приборостроение-2008 : материалы 1-й Международной научно-технической конференции, 12-14 ноября 2008 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2008. – С. 35-36.