Устройство контроля качества структуры ионно-легированных слоев
Bibliographic entry
Сычик, В. А. Устройство контроля качества структуры ионно-легированных слоев / В. А. Сычик, Э. К. Лашицкий // Приборостроение-2009 : материалы 2-й Международной научно-технической конференции, 11-13 ноября 2009 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2009. – С. 106-107.
