Активация процессов формирования микроразмерных переходных слоев на границах твердотельных структур в изделиях микроэлектроники
Bibliographic entry
Ланин, В. Л. Активация процессов формирования микроразмерных переходных слоев на границах твердотельных структур в изделиях микроэлектроники / В. Л. Ланин // Приборостроение-2009 : материалы 2-й Международной научно-технической конференции, 11-13 ноября 2009 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2009. – С. 292-293.
