Сенсорные свойства тонких пленок wo3 осажденных магнетронным методом
Bibliographic entry
Хатько, В. В. Сенсорные свойства тонких пленок wo3 осажденных магнетронным методом / В. В. Хатько // Приборостроение-2009 : материалы 2-й Международной научно-технической конференции, 11-13 ноября 2009 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2009. – С. 237-238.
