Использование быстрого термического отжига в технологии создания полупроводниковых структур
Bibliographic entry
Просолович, В. С. Использование быстрого термического отжига в технологии создания полупроводниковых структур / В. С. Просолович, Ю. Н. Янковский, В. В. Черный // Приборостроение-2009 : материалы 2-й Международной научно-технической конференции, 11-13 ноября 2009 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2009. – С. 219-220.
