Осаждение пленок из тугоплавких материалов
| dc.contributor.author | Сычик, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Уласюк, Н. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Данильчик, Е. М. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2026-03-12T08:05:19Z | |
| dc.date.available | 2026-03-12T08:05:19Z | |
| dc.date.issued | 2010 | |
| dc.identifier.citation | Сычик, В. А. Осаждение пленок из тугоплавких материалов / В. А. Сычик, Н. Н. Уласюк, Е. М. Данильчик // Приборостроение-2010 : материалы 3-й Международной научно-технической конференции, 10–12 ноября 2010 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2010. – С. 270. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/165236 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Осаждение пленок из тугоплавких материалов | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
