Осаждение пленок из тугоплавких материалов
Bibliographic entry
Сычик, В. А. Осаждение пленок из тугоплавких материалов / В. А. Сычик, Н. Н. Уласюк, Е. М. Данильчик // Приборостроение-2010 : материалы 3-й Международной научно-технической конференции, 10–12 ноября 2010 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2010. – С. 270.
