Формирование углеродсодержащих диэлектрических покрытий
Bibliographic entry
Гуревич, О. В. Формирование углеродсодержащих диэлектрических покрытий / О. В. Гуревич // Приборостроение-2010 : материалы 3-й Международной научно-технической конференции, 10–12 ноября 2010 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2010. – С. 249-250.
