Скрайбирование тонких плёнок молибдена лазерными импульсами фемтосекундной длительности

Date
2011Publisher
Bibliographic entry
Скрайбирование тонких плёнок молибдена лазерными импульсами фемтосекундной длительности / А. Е. Гулевич, В. Э. Кисель, Н. В. Кондратюк[и др.] // Приборостроение-2011 : материалы 4-й Международной научно-технической конференции, 16–18 ноября 2011 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2011. – С. 297-299.