Исследование дефектности образцов монокристаллического кремния с наноструктурированным покрытием методом зонда Кельвина

Authors
Date
2011Publisher
Bibliographic entry
Исследование дефектности образцов монокристаллического кремния с наноструктурированным покрытием методом зонда Кельвина / Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. В. Дубаневич[и др.] // Приборостроение-2011 : материалы 4-й Международной научно-технической конференции, 16–18 ноября 2011 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2011. – С. 288-289.