Определение удельного износа тонких слоев с использованием АСМ
Bibliographic entry
Кузнецова, Т. А. Определение удельного износа тонких слоев с использованием АСМ / Т. А. Кузнецова, С. А. Чижик, М. В. Тарендь // Приборостроение-2012 : материалы 5-й Международной научно-технической конференции, 21–23 ноября 2012 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 89-90.
