Применение импульсной фотонной обработки для формирования тонких пленок силицида магния
Bibliographic entry
Применение импульсной фотонной обработки для формирования тонких пленок силицида магния / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Приборостроение-2012 : материалы 5-й Международной научно-технической конференции, 21–23 ноября 2012 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 334-336.
