Результаты испытаний промышленных образцов катодов-мишеней из специальных сплавов в вакуумных установках для нанесения покрытий
Another Title
Test results of industrial samples of target cathodes made of special alloys in vacuum coating installations
Bibliographic entry
Результаты испытаний промышленных образцов катодов-мишеней из специальных сплавов в вакуумных установках для нанесения покрытий = Test results of industrial samples of target cathodes made of special alloys in vacuum coating installations / А. Г. Слуцкий, В. А. Шейнерт, К. А. Мельников [и др.] // Металлургия : республиканский межведомственный сборник научных трудов / редкол.: И. А. Иванов (гл. ред.), Б. М. Неменёнок, И. А. Трусова [и др.]. – Минск : БНТУ, 2025. – Вып. 46. – С. 81-87.
Abstract
В статье представлены обобщенные результаты испытаний составных катодов-мишеней из специальных сплавов. С использованием литейно-деформационных технологий отработаны варианты их изготовления, включающие синтез различных титансодержащих сплавов на высокоскоростной плавильной установке с последующей его заливкой в специальную литейную форму, а также получение слитков их дробление и размол в порошки на основе которых методом статического горячего прессования получены заготовки катода-мишени. На промышленной вакуумно-плазменной установке УВНИПА-1-2 со штатным стационарно плазменным ускорителем (СПУ) были проведены испытания промышленных образцов катодов-мишеней и получены покрытия на образцах из стали Р6М5 и Х18Н9Т. Выполнены исследования химического состава покрытий, полученных в вакууме и среде азота, микротвердости и коэффициента трения.
Abstract in another language
The article presents generalized test results of composite target cathodes made of special alloys. Using casting and deformation technologies, variants of their manufacture have been worked out, including the synthesis of various titanium-containing alloys on a high-speed plastic installation followed by its casting into a special casting mold, as well as the production of ingots, their crushing and grinding into powders based on which target cathode blanks were obtained by static hot pressing. Tests of industrial samples of target cathodes were carried out at the UVNIPA-1-2 industrial vacuum-plasma installation with a standard stationary plasma accelerator (SPU) and coatings were obtained on samples made of steel R6M5 and X18N9T. Studies of the chemical composition of coatings obtained in vacuum and nitrogen medium, microhardness and coefficient of friction have been performed.