Элементарный анализ покрытий и тонких слоев металлов методом двухимпульсной лазерной атомно-эмиссионной спектроскопии
Another Title
Elementary analysis of coatings and thin layers of metals by double pulse laser induced breakdown spectroscopy
Bibliographic entry
Ермалицкая, К. Ф. Элементарный анализ покрытий и тонких слоев металлов методом двухимпульсной лазерной атомно-эмиссионной спектроскопии = Elementary analysis of coatings and thin layers of metals by double pulse laser induced breakdown spectroscopy / К. Ф. Ермалицкая, У. К. Щерба, А. В. Марковская // Приборостроение-2025 : материалы 18-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2025 года Минск, Республика Беларусь / редкол.: А. И. Свистун (пред.), О. К. Гусев, Р. И. Воробей [и др.]. – Минск : БНТУ, 2025. – С. 138-140.
Abstract
При проведении элементарного анализа образцов с малыми концентрациями исследуемого вещества, например, покрытий и тонких слоев металлов, наиболее интенсивными в спектре оказываются резонансные линии, для которых характерно явление самопоглощения, выраженного в провале интенсивности спектрального пика. Провал спектрального пика делает невозможным определения точного значения концентрации образца. При уменьшении интенсивности возбуждающего излучения интенсивность резонансного пика падает до уровня шума. Предложена методика управления плотности мощности лазерного излучения для уменьшения влияния явления самофокусировки. В качестве объекта исследования взят тонкий слой легкоплавкого галлия, нанесенный на тугоплавкую вольфрамовую подложку.
Abstract in another language
When conducting an elementary analysis of samples with low concentrations of the studied substance, for example, coatings and thin layers of metals, resonance lines are most intense in the spectrum, which are characterized by the phenomenon of self-ablation, expressed in a dip in the intensity of the spectral peak. The failure of the spectral peak makes it impossible to determine the exact concentration value of the sample. As the intensity of the exciting radiation decreases, the intensity of the resonant peak decreases to the noise level. A technique for controlling the power density of laser radiation is proposed to reduce the effect of the phenomenon of self-focusing. A thin layer of low-melting gallium deposited on a refractory tungsten substrate was taken as the object of the study.