Системы терморегуляции с пьезоэлектрическими генераторами потока
Another Title
Thermal control systems with piezoelectric flow generators
Bibliographic entry
Системы терморегуляции с пьезоэлектрическими генераторами потока = Thermal control systems with piezoelectric flow generators / С. А. Филатов, М. Н. Долгих, К. С. Люцко, [и др.] // Приборостроение-2025 : материалы 18-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2025 года Минск, Республика Беларусь / редкол.: А. И. Свистун (пред.), О. К. Гусев, Р. И. Воробей [и др.]. – Минск : БНТУ, 2025. – С. 82-84.
Abstract
Рассматриваются перспективные MEMS системы терморегуляции и охлаждения микроэлектронной техники с пьезоэлектрическими генераторами потока охлаждающей среды.
Abstract in another language
Promising thermal control and cooling MEMS systems for microelectronic equipment with cooling medium flow piezoelectric generators are considered.