Влияние быстрой термической обработки на электрофизические свойства слоев силицидов NiPt(V)
Another Title
Effect of rapid heat treatment on the electrophysical properties of NiPt(V) silicide layers
Bibliographic entry
Влияние быстрой термической обработки на электрофизические свойства слоев силицидов NiPt(V) = Effect of rapid heat treatment on the electrophysical properties of NiPt(V) silicide layers / М. И. Довгаль, Е. Н. Щербакова, В. А. Лапицкая [и др.] // Приборостроение-2025 : материалы 18-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2025 года Минск, Республика Беларусь / редкол.: А. И. Свистун (пред.), О. К. Гусев, Р. И. Воробей [и др.]. – Минск : БНТУ, 2025. – С. 38-39.
Abstract
В работе представлены результаты изучения электрофизических характеристик слоев силицидов Pt-Ni, полученных магнетронным осаждением и последующей быстрой термической обработкой.
Abstract in another language
The electrophysical properties of magnetron-sputtered Pt-Ni coatings were analyzed following rapid heat treatment.