Влияние быстрой термической обработки на электрофизические свойства слоев силицидов NiPt(V)
Loading...
Files
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Effect of rapid heat treatment on the electrophysical properties of NiPt(V) silicide layers
Abstract
В работе представлены результаты изучения электрофизических характеристик слоев силицидов Pt-Ni, полученных магнетронным осаждением и последующей быстрой термической обработкой.
item.page.description-other
The electrophysical properties of magnetron-sputtered Pt-Ni coatings were analyzed following rapid heat treatment.
Description
Citation
Влияние быстрой термической обработки на электрофизические свойства слоев силицидов NiPt(V) = Effect of rapid heat treatment on the electrophysical properties of NiPt(V) silicide layers / М. И. Довгаль, Е. Н. Щербакова, В. А. Лапицкая [и др.] // Приборостроение-2025 : материалы 18-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2025 года Минск, Республика Беларусь / редкол.: А. И. Свистун (пред.), О. К. Гусев, Р. И. Воробей [и др.]. – Минск : БНТУ, 2025. – С. 38-39.