Пеллисторы на платформах из анодного оксида алюминия
Another Title
Pellistors based on anodic alumina platform
Bibliographic entry
Пеллисторы на платформах из анодного оксида алюминия = Pellistors based on anodic alumina platform / С. В. Денисюк, О. Н. Куданович, И. М. Андрухович, С. И. Спицкий // Приборостроение-2025 : материалы 18-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2025 года Минск, Республика Беларусь / редкол.: А. И. Свистун (пред.), О. К. Гусев, Р. И. Воробей [и др.]. – Минск : БНТУ, 2025. – С. 36-38.
Abstract
Рассмотрены пеллисторы на платформе из тонкопленочного анодного оксида алюминия стокопроводящими пленочными элементами, выполненными из каталитически активных металлов и сплавов, и пленочным катализатором на основе нитрата алюминия и платино-палладиевой смеси, нанесенным на поверхность рабочей зоны. Использование подложек из анодного оксида алюминия позволяет получать пеллисторы с изолированной рабочей зоной, предотвращающей утечку тепла по подложке и обеспечивающей высокую термомеханическую прочность пеллистора.
Abstract in another language
The paper discusses pellistors made on a thin-film aluminium oxide anode platform with conductive film elements made of catalytically active metals and alloys, and a film catalyst based on aluminium nitrate and a platinum-palladium mixture applied to the surface of the working area. The use of anodic aluminum oxide substrates allows the production of pellistors with an isolated working area, which prevents heat leakage through the substrate and ensures high thermomechanical strength of the pellistor.