Привод ввода вращения и узел уплотнения ввода для вакуумной камеры ионной обработки
| dc.contributor.author | Аглушевич, И. Ю. | |
| dc.date.accessioned | 2025-07-07T12:23:15Z | |
| dc.date.available | 2025-07-07T12:23:15Z | |
| dc.date.issued | 2024 | |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/157615 | |
| dc.title | Привод ввода вращения и узел уплотнения ввода для вакуумной камеры ионной обработки | ru |
