Маркевич, М. И. Синтез тонких пленок силицидов и германидов титана для СБИС / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Приборостроение-2013 : материалы 6-й Международной научно-технической конференции (20–22 ноября 2013 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. кол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2013. – С. 338-340.