Установка для неразрушающей бесконтактной характеризации пластин со структурой кремний-диэлектрик с использованием коронного разряда

Authors
Date
2013Publisher
Bibliographic entry
Установка для неразрушающей бесконтактной характеризации пластин со структурой кремний-диэлектрик с использованием коронного разряда / Р. И. Воробей, А. Л. Жарин, А. Н. Петлицкий [и др.] // Приборостроение-2013 : материалы 6-й Международной научно-технической конференции (20–22 ноября 2013 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. кол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2013. – С. 36-38.