Моделирование процессов массопереноса при нанесении PVD-покрытий
Bibliographic entry
Иванов, И. А. Моделирование процессов массопереноса при нанесении PVD-покрытий / И. А. Иванов, И. В. Мисник // Металлургия : республиканский межведомственный сборник научных трудов. Вып. 35 / ред. колл.: В. И. Тимошпольский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 182 - 191.
Abstract
Цель работы – разработка численного алгоритма исследования процессов переноса заряженных частиц плазменного потока вакуумного электродугового испарителя на основе метода пробной частицы с учетом парных взаимодействий ион-молекула технологического газа.