| dc.contributor.author | Микитевич, В. А. | |
| dc.contributor.author | Довнар, А. С. | |
| dc.contributor.author | Полхутенко, С. А. | |
| dc.contributor.author | Клиш, А. Ю. | |
| dc.contributor.author | Поведайко, А. Д. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2025-04-21T08:10:01Z | |
| dc.date.available | 2025-04-21T08:10:01Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Универсальный цифровой измеритель контактной разности потенциалов и поверхностной фото-ЭДС : отчет о НИР (заключительный) : № ГР 20180680 / Белорусский национальный технический университет ; рук. А. Л. Жарин ; исполн.: В. А. Микитевич [и др.]. – Минск : [б. и.], 2018. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/154917 | |
| dc.description.abstract | Целью исследования являлась разработка универсального цифрового измерителя контактной разности потенциалов и поверхностной фото-ЭДС, предназначенного для оценки качества прецизионных поверхностей (полупроводниковых пластин и диэлектриков), а также измерения количественных характеристик бесконтактным методом. Метод проведения работы: компьютерное моделирование, натурный эксперимент. Основные характеристики: Площадь зонда: 2 мм2; погрешность измерения потенциала поверхности: ± 2 мВ; диапазон длин волн оптического излучения, 400–900 нм; диапазон измерения поверхностной фото-ЭДС ± 2 В. Степень внедрения: макетный образец. Область применения: оценка качества поверхностей различных материалов, в том числе полупроводниковых пластин и диэлектриков; измерения параметров этих поверхностей (контактная разность потенциалов и фото-ЭДС), а также исследования изделий микро- и нанотехники бесконтактным методом. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.title | Универсальный цифровой измеритель контактной разности потенциалов и поверхностной фото-ЭДС | ru |
| dc.title.alternative | Отчет о НИР (заключительный) : № ГР 20180680 | ru |
| dc.type | Technical Report | ru |
| dc.contributor.supervisor | Жарин, А. Л. | |
