Универсальный цифровой измеритель контактной разности потенциалов и поверхностной фото-ЭДС

Abstract

Целью исследования являлась разработка универсального цифрового измерителя контактной разности потенциалов и поверхностной фото-ЭДС, предназначенного для оценки качества прецизионных поверхностей (полупроводниковых пластин и диэлектриков), а также измерения количественных характеристик бесконтактным методом. Метод проведения работы: компьютерное моделирование, натурный эксперимент. Основные характеристики: Площадь зонда: 2 мм2; погрешность измерения потенциала поверхности: ± 2 мВ; диапазон длин волн оптического излучения, 400–900 нм; диапазон измерения поверхностной фото-ЭДС ± 2 В. Степень внедрения: макетный образец. Область применения: оценка качества поверхностей различных материалов, в том числе полупроводниковых пластин и диэлектриков; измерения параметров этих поверхностей (контактная разность потенциалов и фото-ЭДС), а также исследования изделий микро- и нанотехники бесконтактным методом.