Технология нанесения алмазоподобных покрытий на подложки из германия
Bibliographic entry
Андреев, И. С. Технология нанесения алмазоподобных покрытий на подложки из германия / И. С. Андреев, Р. В. Фёдорцев // Новые горизонты – 2024 : сборник материалов XI Белорусско-китайского молодежного инновационного форума, 21-22 ноября 2024 года / Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2024. – Т. 1. – С. 97-99.
Abstract
This paper describes the PECVD method for depositing diamond-like coatings on germanium substrates and monitoring its transmittance.