Особенности вакуумных систем устройств сканирующей электронной микроскопии
Bibliographic entry
Корнеев, С. В. Особенности вакуумных систем устройств сканирующей электронной микроскопии / С. В. Корнеев // Технологии современного образования : материалы международной конференции, Минск, 24-25 октября 2024 г. / Белорусский национальный технический университет ; сост. М. Г. Карасёва. – Минск : БНТУ, 2025. – С. 466-470.
Abstract
Рассматриваются вакуумные системы современных устройств сканирующей электронной микроскопии и особенности их построения для реализации дополнительных функций, расширяющих диапазон проводимых исследований.