| dc.contributor.author | Ковалевич, Э. В. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2025-04-08T12:04:12Z | |
| dc.date.available | 2025-04-08T12:04:12Z | |
| dc.date.issued | 2019 | |
| dc.identifier.citation | Исследование структуры и свойств силицидов содержащих Ti, Cu, Ni, формируемых в процессе изготовления катодов мишеней для вакуумно-плазменного напыления : отчет о НИР (заключительный) : № ГР 20191017 / Белорусский национальный технический университет ; рук. И. А. Иванов ; исполн. Э. В. Ковалевич. – Минск : [б. и.], 2019. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/154289 | |
| dc.description.abstract | Целью работы является определение состава и структуры катодов мишеней для вакуумно-плазменного напыления. В данной работе получены следующие научные и практические результаты: – проведены термодинамические расчеты процесса металлотермического восстановления металлов с кремнием; – изготовлен образец сплавов из исходных материалов (выбор защитной атмосферы, определение оптимальных температурных режимов проведения металлотермических реакций); – разработаны рекомендации по выбору составов для изготовления катодов мишеней для вакуумных плазменных испарительных устройств. – металлотермическим методом получены сплавы Me-Si с малым содержанием неметалла; На основе разработанной методики получены сложнолегированные катоды для вакуумных испарительных устройств, использование, которые обеспечивают формирование вакуумно-плазменных покрытий заранее заданного состава. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.title | Исследование структуры и свойств силицидов содержащих Ti, Cu, Ni, формируемых в процессе изготовления катодов мишеней для вакуумно-плазменного напыления | ru |
| dc.title.alternative | Отчет о НИР (заключительный) : № ГР 20191017 | ru |
| dc.type | Technical Report | ru |
| dc.contributor.supervisor | Иванов, И. А. | |
