Исследование структуры и свойств силицидов содержащих Ti, Cu, Ni, формируемых в процессе изготовления катодов мишеней для вакуумно-плазменного напыления

Abstract

Целью работы является определение состава и структуры катодов мишеней для вакуумно-плазменного напыления. В данной работе получены следующие научные и практические результаты: – проведены термодинамические расчеты процесса металлотермического восстановления металлов с кремнием; – изготовлен образец сплавов из исходных материалов (выбор защитной атмосферы, определение оптимальных температурных режимов проведения металлотермических реакций); – разработаны рекомендации по выбору составов для изготовления катодов мишеней для вакуумных плазменных испарительных устройств. – металлотермическим методом получены сплавы Me-Si с малым содержанием неметалла; На основе разработанной методики получены сложнолегированные катоды для вакуумных испарительных устройств, использование, которые обеспечивают формирование вакуумно-плазменных покрытий заранее заданного состава.