Узлы и системы вакуумно-технологического оборудования SNT Sigma-400V

Сапожникова, К. С.; Щербакова, Е. Н.; Наливайко, О. Ю.

Authors

Сапожникова, К. С.

Щербакова, Е. Н.

Наливайко, О. Ю.

Date

2024

Publisher

Интегралполиграф

Another Title

Units and systems of vacuum technological equipment

Bibliographic entry

Сапожникова, К. С. Узлы и системы вакуумно-технологического оборудования SNT Sigma-400V = Units and systems of vacuum technological equipment / К. С. Сапожникова, Е. Н. Щербакова, О. Ю. Наливайко // Приборостроение-2024 : материалы 17-й Международной научно-технической конференции, 26-29 ноября 2024 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: А. И. Свистун (пред.), О. К. Гусев, Р. И. Воробей [и др.]. – Минск : Интегралполиграф, 2024. – С. 407-409.

Abstract

Представлен основной состав узлов и систем вакуумно-технологического оборудования.

Abstract in another language

The main composition of units and systems of vacuum technological equipment is presents.